石英坩埚变形（很奇怪的）

xiaohe2008 · 发表于 2011-1-22 13:08:34

不明白到底是料的问题还是石英坩埚质量的问题？希望高手帮忙分析下~！~

jackcy_wang · 发表于 2011-1-26 16:45:40

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还有一种可能为石英坩埚与石墨件[三瓣埚]之间间隙过小导致气体不流畅导致...

xiaohe2008 · 发表于 2011-1-27 08:13:05

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这位兄弟你好~！我不明白的是为什么间隙过小会导致他向内部凸起？

ct00 · 发表于 2011-2-12 10:06:13

石英坩埚的外层不都是已经有突出的地方给你足够的间隙了吗？

ccbj001 · 发表于 2011-2-16 22:01:34

坩埚质量的问题……

khcoco · 发表于 2011-2-25 14:10:33

一般都是石英坩埚质量不好造成的

tynlt · 发表于 2011-3-18 15:11:37

1.坩埚问题 2.拉制时间过长也会部分出现

ct00 · 发表于 2011-3-19 11:21:34

石英干锅，图层有问题或者是出现类似于渗硅

xiaohe2008 · 发表于 2011-3-19 14:14:23

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热涂是SiNx，冷涂是BaOH 具体有什么区别？

shimmer · 发表于 2011-3-20 21:12:24

我估计是坩埚质量问题。还有个可能就是炉内温度场的均匀性不好，某些温度高的地方会导致坩埚变形。

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