薄膜厚度的计算方法有哪些

wangyanlei · 发表于 2011-4-8 07:31:27

薄膜厚度的计算方法都有哪些？通过薄膜透过率如何计算薄膜厚度？

menglongoo · 发表于 2011-4-18 16:58:00

薄膜一般是用膜厚测试仪来进行厚度检测，一般有台阶仪，光学薄膜测厚仪等。台阶仪需要台阶，一般通过贴胶带制作，光学薄膜测厚用的是光的干涉原理，通过消光系数和折射率来进行厚度测算，只能测试透明薄膜，对于绒面的测试不准确，对太薄的薄膜测试也不准确，比如几纳米~

liusijia952 · 发表于 2011-7-21 16:43:18

用台阶仪会破坏膜层，不太合适

menglongoo · 发表于 2011-8-22 08:42:57

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在dummy上就可以了呀~

二白 · 发表于 2012-7-4 20:20:43

还有椭偏仪啊

wokaoman · 发表于 2012-11-5 17:22:17

椭偏仪和反射仪还有SEM都可以看出来，台阶仪太薄的薄膜没法测

pvrenren · 发表于 2012-12-26 16:06:18

wokaoman 发表于 2012-11-5 17:22
椭偏仪和反射仪还有SEM都可以看出来，台阶仪太薄的薄膜没法测

我知道Dektak 台阶仪测试精度比椭偏仪和SEM要高很多。

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