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AKT Large Area PECVD Capability

发表于 2011-4-20 16:31:32 | 查看全部 |阅读模式

应材用于TFT和TF solar领域的大面积a-Si沉积设备——AKT系列PECVD，介绍资料
应用材料AKT系列PECVD介绍
未命名.jpg

未命名.jpg

AKT Large Area PECVD Capability.pdf

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