请教单晶氧化问题

qzkh · 发表于 2011-5-17 09:55:38

各位大虾：本人遇到一个十分头疼的老问题，单晶氧化，想了很多办法都不能有效的解决，
希望各位帮助解决。
真空抽速正常，漏率0.15/min，极限真空3.5pa，氩气正常。

请大家帮我分析分析，可能导致这种结果的原因。谢谢！

sumx · 发表于 2011-5-17 10:23:31

轻微漏水或漏气引起的

xiaohe2008 · 发表于 2011-5-17 21:12:25

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是每炉都是这样还是就一炉是这样的啊？

dapengniao · 发表于 2011-5-17 22:31:29

关注氩气纯度。

qzkh · 发表于 2011-5-19 08:11:15

已经出现了五炉，现在更换了氩气，具体情况待结果出来后才知道。

xiaohe2008 · 发表于 2011-5-19 10:58:09

回复 qzkh 的帖子

情况说清楚
是一台炉子这样还是所有的炉子都是这样的啊~！
如果说所有炉子都有氧化现象而且真空都能保证漏率3分钟1pa，
那请你检查下氩气管道有没有漏气的地方和氩气纯度，纯度是5个9。
或者找个单晶设备的给你们弄下就好了啊~！问题很好解决。

zhang1237 · 发表于 2011-5-19 13:45:57

想这种严重程度，氩气的可能性很小，应该是漏气

kuerz · 发表于 2011-5-20 08:38:49

如果只是单台炉子这样的话，建议你检查这台炉子的氩气进气是否泄漏了！也就是氩气流量计前边一段.另外你的电磁阀是否泄漏呵呵这个只检炉体检查不出来的

qzkh · 发表于 2011-5-20 08:59:47

氩气更换过以后，问题基本解决，看来是纯度不够引起的，感谢各位大虾的指教！
另外单晶氧化一定是设备的问题吗？与原料、热场、及温度是否有关系呢？请各位指教！

kuerz · 发表于 2011-5-20 14:27:34

qzkh 发表于 2011-5-20 08:59
氩气更换过以后，问题基本解决，看来是纯度不够引起的，感谢各位大虾的指教！
另外单晶氧化一定是设备的问 ...

那应该是大批量炉台出问题了·~ 原料造成氧化没有碰到过·不过排气堵塞会造成晶棒边彩

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