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1.肩后200以内可考虑拉细颈放肩收肩的操作问题，
中下部坏可考虑热场梯度的问题，棱不同时断百分百的杂质点，棱同时断，熔体内存在高熔点杂质微粒。几乎所有断棱都和杂质有关，因为单晶的生长力是很强的，除非有外来异向晶核的侵入晶体生长前沿和晶体内产生了较大热内应力（超出晶体弹性形变的范畴，产生范性形变）才会破坏单晶的无位错生长。生长棱线被破坏的形态和异向晶核所带有的破坏能量不同（杂质成分、几何尺寸、质量大小、在生长前沿的位置、侵入的瞬间）而不同（当然也包括晶体内应力的大小）。讲个问题过程较复杂考虑因素较多，但在实际中说说也简单，
尽量选用好的硅原料，不用或少用埚底料，选用优质涂钡坩埚，原料化腐清洗处理的好，炉子排气排的好，工艺操作做的细，断棱现象肯定会大大降低。大多数厂家用的热场基本不存在多大的问题，因为都是互相套搬的，根据使用情况稍加调整即可。
2.引晶不好未完全消除位错，在放肩或之后工序中会掉包，但据说在等径400以后这个原因就可以消除了。
温度波动太厉害，强大的热冲击或炉体机械方面的干扰引起断棱，一般是4条一起断；不同的是热场波动棱线逐渐消失，机械扰动断棱有很明显的痕迹。 3.原材料至关重要。
籽晶长短，操作技能，（前部断线）
热场梯度。（中部断线）
温度补偿不够（尾部断线）
最后，有杂质必定断线。 4.在拉晶过程中挥发物不能及时排出，形成小颗粒落入熔体中，颗粒通过熔体传送到晶体生长界面，导致断棱，单未必是四条棱一起断
温度控制不好，引晶位错排不好，热场设计不好，等径参数设置不好等因素会导致四条棱一起断
在晶体等径生长阶段，晶体内总是存在着热应力，实践表明，晶体在生长过程中等温面不可能保持绝对的平面，而只要等温面不是平面就存在着径向温度梯度，形成热应力，晶体中轴向温度分布往往具有指数函数的形式，因而也必然会产生热应力，当这些热应力超过了硅的临界应力时晶体中就会产生位错。 5.清炉不彻底 引颈太短太粗 用的石英坩埚不好 热场出了问题，不妨改变一下晶转试一试！比如以前12转的可以打到10转
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发表于 2011-5-18 09:35:25
