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硅片厚薄不均预防措施

发表于 2011-6-19 09:16:10 | 查看全部 |阅读模式
硅片厚薄不均预防措施
1、TV偏大或偏小:根据客户要求片厚,计算出最佳成本/质量的槽距,钢线,碳化硅,砂浆密度。
2、TTV》15mm的硅片占比超过0.62%,属于异常。对于一次切割的单位,应增加导向条(部位不提供),两次切割的单位最好把导轮(主辊)槽距改一下或第二次切割时砂浆流量增大500公斤/小时(5l/min)或多更换20公斤砂浆。
3、硅片的进刀处的进线端(角)偏薄或偏厚,应修改进刀时的砂浆流量
4、同一个硅片的厚度呈大-小-大-小分布的,应调整切割工艺程序。进给,线速,流量应均匀同步变化。
5、跳线引起的某刀硅片厚度异常,同一个片的厚度异常,不同片子的厚度偏差等,因通过加过滤网/过滤袋/振荡过滤器和切割前仔细过滤,没有跳线来消除。


发表于 2011-6-21 08:45:29 | 查看全部
说的不错啊
发表于 2011-8-30 09:24:45 | 查看全部
学习学习,硅片厚薄不均预防措施后面还有什么,,请楼主继续
发表于 2011-11-4 10:51:10 | 查看全部
这个我不同意楼主的看法,不知道楼主是使用的那种机床进行切割,不同机床不同工艺产生的原因也不一样
发表于 2011-11-23 15:49:37 | 查看全部
薄厚不均要分种类的,不能一概而论
发表于 2011-11-28 11:40:04 | 查看全部
是原创吗?>>>>>.
发表于 2011-11-29 11:55:33 | 查看全部
{:soso_e100:}我洗耳恭听!!!
有没有针对不同机台更具体的讨论?!
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