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发表于 2011-7-7 09:50:07
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回复 bxxu0108 的帖子
应该算是微晶,行业内把铸锭过程中出现的这种结晶质量不良的习惯称谓。该处外观主要是有大量小粒径的晶粒。微晶在少子寿命检测时表现过低的原因是由于晶界过于密集,杂质在晶界部分过多集聚引起的。所以,一般在开方后对铸锭进行IR扫描检测,和切片后对硅片晶粒数进行检测,当阴影或晶粒数超标时把该部分铸锭或硅片作为不良品处理。 |
一般单晶不存在微晶这个情况,只有多晶才有这个情况,一般在IR检测发现有的话就切除阴影部分,把阴影部分回炉。但是现在国产多晶材料的品质不是很稳定,在铸锭时经常会出现。 目前大多厂多晶铸锭都有此种情况!不能完全杜绝。 |
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