关于PE双层膜的问题

chengxinshijin · 发表于 2011-7-6 18:36:07

我在网上看到二氧化硅和氮化硅的双层膜工艺，请问高手：仅氮化硅的双层膜怎么镀，谁能指导下

chengxinshijin · 发表于 2011-7-9 21:59:38

怎么高手都不来啊，难道这个也保密

chengxinshijin · 发表于 2011-7-9 22:00:57

我觉得不至于吧

chengxinshijin · 发表于 2011-7-11 21:30:52

看的多，跟帖的少

27993161 · 发表于 2011-7-27 22:26:06

氮化硅??NH3和SiH4啊

zhaoff2005 · 发表于 2011-8-26 08:35:38

同质双层膜对单晶作用不大。
多晶可考虑。

chengxinshijin · 发表于 2011-8-27 01:05:30

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我做过实验，显示不出来，可听别人说效率能提高0.2到0.4，所以还是不甘心就这么算了

zhaoff2005 · 发表于 2011-8-27 07:22:53

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单晶还是多晶？

chengxinshijin · 发表于 2011-8-27 23:36:24

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是单晶硅的

zhaoff2005 · 发表于 2011-8-28 07:14:19

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单晶的意义不大。
多晶会加大钝化效果，单晶本身晶界、缺陷就少。

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