导流筒上方有好多的黄色啊

ct00 · 发表于 2011-7-27 19:29:52

导流筒上方有好多的黄色的杂物啊，好难清理啊，

那个大虾可以告诉我什么原因造成的

q6537885 · 发表于 2011-7-27 22:03:09

黄色挥发物为一氧化硅，在拉晶过程中增加氩气的通入炉子的量，可以一定的减少挥发物得附着

mornred · 发表于 2011-7-28 08:44:12

真空泵的效果好不好?

ct00 · 发表于 2011-7-28 10:20:51

挺好的啊能达到3Pa一下的
是不是新热场的原因啊？

ct00 · 发表于 2011-7-28 10:21:49

氩气开打了晶棒在摇晃啊

diaogao · 发表于 2011-8-1 08:45:01

这个是很难清理。如果抽空阀门是可调的，可以适当调节开大一些，适当降低炉内压力，这样一氧化硅的挥发能小一些。

ct00 · 发表于 2011-8-1 09:31:04

阀门都已经全部打开了啊

sz323122 · 发表于 2011-8-1 16:39:22

从照片上看不是很严重，是系统设计问题，埚位最后升的太高埚的内径和导流筒之间的距离是越来越近，造成的排气不畅，你看你的炉压是不是越来越高

wzj0471 · 发表于 2011-8-2 04:56:55

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晶棒晃动：
这种现象俗称" 棒摆"
棒摆会发生在整个拉晶的各个阶段：引晶/生长/收尾
棒摆的原因有很多，不是单单一个方面引起的。曾经美国****公司花巨资专门研究这个为题。也没有得出明确结论。但主要方面有以下几点。:
1.软轴（钢丝绳）
2.提拉头，减速机构/旋转机构。
3.热场。
4.氩气（流量/气流在炉内的流动）
5.炉子机构
6.热场设计/分布
7.真空系统（泵/管道）
8.冷却系统（水流/水温）
9.硅料（如拉电子级棒，不同型号的棒子。
10.重锤（形状/重量/精度

ct00 · 发表于 2011-8-2 19:24:33

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对啊，今天的另一炉也是这样啊，同样的氩气流量，从1.3到了后来的1.8了啊升了好多啊，

请问一下这个问题怎么解决啊？

导流筒上方有好多的黄色啊

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