如何降低三氯氢硅中的碳含量？

yjq · 发表于 2011-8-18 13:22:04

请教大家，如何降低三氯氢硅中的碳含量？

mornred · 发表于 2011-8-19 11:36:34

得从金属硅的生产抓起

yjq · 发表于 2011-8-21 09:05:13

金属硅是一个方面，其它有影响吗？

mornred · 发表于 2011-8-21 12:24:36

氢气\氯气里的碳也得控制

yjq · 发表于 2011-8-22 15:01:32

氢气里有碳吗？怎么没听说过？如果有，怎么处理呢？麻烦4楼的朋友指教

蓝眼泪 · 发表于 2011-8-24 09:00:12

ls用PSA

yjq · 发表于 2011-8-26 12:30:39

是不是阀门、管道会带入碳？

蓝眼泪 · 发表于 2011-8-31 08:42:46

回复 yjq 的帖子

回收氢会有

yjq · 发表于 2011-8-31 11:04:14

是三氯氢硅合成炉之后的氢气回收吧？8楼的朋友，看来，你挺不错，多指点指点。

蓝眼泪 · 发表于 2011-9-1 08:46:27

另外看看原料气的碳含量怎样。

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