硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统的建立

liu635

文中的工作属于MEMS计算机辅助设计(CAD)中的一部分内容。介绍丁如何建立硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统，给出这个工艺模拟系统的结构框图，并就已给出框图中几个重要的方面进行了叙述。在这个框图的基础上，用C语言编写出了相应的模拟硅各向异性腐蚀工艺的软件，并冶出软件的界面和演示结果。结果表明硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统建立的合理性。