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发表于 2010-12-29 17:05:27
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不知道这个能不能帮你?
P型多晶硅(掺杂硼)主要技术指标
项目 指标
Resistivity 电阻率 0.5-3(Ω•cm)
Oxygen content 含氧量 ≤8×1017(atoms/cm3)
Carbon content 含碳量 ≤8×1017(atoms/cm3)
Life time寿命(少数载流子) ≥2(µS)
Dislocation Density位错密度 ≤3000(pos/cm3)
Thickness厚度 200um;180um;170um
TTV <15um
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