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PECVD在多晶硅上沉积氮化硅膜的研究

发表于 2008-7-16 12:19:25 | 查看全部 |阅读模式

这是介绍各个工艺参数对膜厚和折射率的影响
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PECVD在多晶硅上沉积氮化硅膜的研究.pdf

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