急需RENA设备的技术指导

thc860902 · 发表于 2008-8-7 20:42:55

为什么我们公司这两天用RENA制绒的时候老是发生破片，是片源的问题还是设备的原因，如果是设备的原因，想请大家帮忙分析一下原因所在以及处理方法。谢谢了！

solarcell · 发表于 2014-11-25 09:59:35

杰洋精密传动轮发表于 2013-11-25 10:58
rena制绒刻蚀上压轮出现的轮印现在是大部分rena设备使用者遇到的问题，主要原因是上压轮的胶圈老化所导致 ...

我们的滚轮印在背面所以没有影响

atwoodtiger · 发表于 2008-9-8 10:54:04

RENA设备正好最近在用，照理讲设备由原RENA设备人员调试好了后回给你们培训的为。无外乎轨道平整，风刀压力，上料地方放片时要注意等。不知道你们碎片在哪个位置啊。知道碎在哪里就可以找原因了。

xyd0209 · 发表于 2011-9-14 09:58:50

我一直专门负责RENA，碎片和设备以及来料都有关系，像类单晶片和多晶片的碎片率就不一样，多晶明显高。设备问题主要检查下1：各个槽体中滚轮上是否有碎片 2：两个槽之间的挡板是否位置太低 3：风刀处的风压是否太大（不能太小，否则硅片吹不干，扩散后导致氧化发蓝）

杰洋精密传动轮 · 发表于 2013-11-25 10:58:47

rena制绒刻蚀上压轮出现的轮印现在是大部分rena设备使用者遇到的问题，主要原因是上压轮的胶圈老化所导致，所以我们公司针对这种现象经过多次试验做出了改造，一次性可以解决这种问题如果感兴趣可以联系我！13925574935 戴先生

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