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直拉硅单晶中的氧碳杂质相关

发表于 2012-2-3 09:06:03 | 查看全部 |阅读模式

大直径CZSi单晶中微缺陷与间隙氧之间的关系.pdf (132.48 KB, 下载次数: 7)

拉晶埚位对直拉硅单晶氧含量的影响 .pdf

184.61 KB, 阅读权限: 10, 下载次数: 6

直拉单晶硅中的氧和碳.pdf

327.11 KB, 阅读权限: 10, 下载次数: 6

直拉硅单晶中氧的轴向均匀性控制.pdf

324.84 KB, 阅读权限: 10, 下载次数: 8

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