非晶硅沉积后出现底色不一有哪些因素造成的呢？请高手解答！！

憧憬未来 · 发表于 2009-3-18 17:34:11

fengzhixin · 发表于 2009-3-19 08:39:10

沉积的膜薄厚不均匀

憧憬未来 · 发表于 2009-3-19 21:12:50

2# fengzhixin
谢谢``有哪些原因造成的呢？

hanlingsun · 发表于 2009-5-13 09:25:55

特气量没有很好的均匀的沉积，你的喷气孔是否清理干净

j.xiao · 发表于 2009-8-18 15:21:05

膜厚不均匀造成的，主要影响因素有电场均有性、温度均匀性、气体分布情况等，他们均会影响薄膜的生长速率，而影响膜厚。

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