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几种高效晶体硅太阳电池:
1.PERC,PERL,PERT。PERC电池是澳大利亚新南威尔士大学光伏器件实验室最早研究的高效电池。它是正面采用倒金字塔结构,进行双面钝化,背电极通过一些分离很远的小孔贯穿钝化层与衬底接触,这样的电池最高效率这23.2%,但PERC电池的衬底材料只能选用电阻率小于0.5以下的硅材料。为了进一步改善PERC电池性能,在PERC结构与工艺基础上,在电池的背面接触孔处采用了BBr3定域扩散制备出PERL电池。在对PERC电池改进成PERL电池的同时,又将定域掺杂扩大到在整个背面进行全掺杂,制成PERT电池。在其背面的其他区域增加了淡硼掺杂,这样开路电压和填充因子可以得到最大优化。
2.HIT电池。HIT电池是三洋公司开发的大面积高效太阳电池。其优点是:结构性优秀,温度系数低,生产成本少,转换效率高等。值得一提的是,所有的制作过程都是在200摄氏度下进行的,利用溅射技术在电池两面沉积TCO,用丝网印刷的方法在TCO上制作Ag电极。
3.刻槽埋栅电池。其特点为:高效,低成本和适合大批量生产。其工艺过程为:清洗制绒面---清洗---淡磷扩散---热氧化钝化---开槽---槽区腐蚀---清洗---槽区浓磷扩散---背面蒸铝---烧制背场---化学镀埋栅---制作背面电极---蒸镀减反射膜---去边烧结---测试。
4.背电极接触高效电池。其电池完全采用背电极接触方式,正负极交叉排列在背面,前表面没有任何遮挡,P-N结位于背面。
5.OECO电池。其电池结构基于MIS接触,利用表面沟槽形貌的遮掩在极薄的氧化隧道层上倾斜蒸镀低成本的Al作为电极,无需光刻,电极烧穿,电极下重掺杂和高温工艺就可形成高质量的接触,且一次性可蒸镀大批量的电池电极。 |
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