硅片翘曲

haizhifeng99 · 发表于 2009-11-12 22:19:07

硅片出现翘曲到底是哪方面造成的，怎么解决啊，请各位大侠赐教了

z3124349 · 发表于 2009-11-19 11:29:59

拉晶或刀片开断，腐蚀定型。

haizhifeng99 · 发表于 2009-11-25 12:59:24

和工件夹紧装置有关吗

516350777 · 发表于 2009-12-18 08:16:16

还和切割时的温度有关

bingmaying · 发表于 2010-12-12 10:35:39

和加紧装置有关系。

barton2004 · 发表于 2010-12-21 11:48:05

好象要系统地分析一下吧!!!切割过程中的受力\线槽等.

wch090409 · 发表于 2010-12-22 12:59:52

硅片的翘曲度是切片加工控制的主要参数。

小不点 · 发表于 2011-1-16 14:39:23

可能跟加紧有关建议上棒前用无尘纸擦下夹紧槽里

841965584 · 发表于 2011-2-24 11:19:58

如果是经常出现这种情况，其他注意的地方都注意了，还是有的话，就需要加固机器的夹紧装置。

jiayuexu · 发表于 2011-3-2 13:54:21

为什么是夹紧机构？
不是上下升降机构？

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