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发表于 2010-11-4 09:10:08 | 查看全部 |阅读模式
现在用新硅烷法制单晶硅的技术成熟了吗?可以大规模应用么?
发表于 2011-7-19 08:47:24 | 查看全部
很成熟,只要不爆炸就OK
发表于 2011-8-24 09:05:55 | 查看全部
硅烷法是制造多晶硅原料的,现在只有国外有这用法,国内基本都改良西门子法
发表于 2012-1-13 21:08:17 | 查看全部
改良西门子法!
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