oerlikon关于PECVD设备经典论文 The physics of plasma-enhanced chemical vapour dep

发表于 2011-4-12 20:55:54 | 查看全部 |阅读模式

oerlikon前身unaixs研发人员论著

The physics of plasma-enhanced chemical vapour deposition for large-area coating: industrial application to flat panel displays and solar cells

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