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目前，在太阳能光伏、电子半导体领域，随着晶圆尺寸、产量及单个晶圆成本逐渐增大，更加苛刻的化学、高温加工环境。各相关企业均要求通过降低因不同工艺步骤产生的晶圆污染与损失而提高产量、减少生产设备的维修。提高生产设备的生产效率。 要达到这个目标，就需要一种满足综合一系列关键要求的新型材料，这些关键要求包括： 高纯度；可加工性；耐耗损性能；化学稳定性；载荷条件下的尺寸稳定性；耐磨损性能；低颗粒产生率；长期可靠性；晶圆表面的精密度；易于清洗与维护；防污染；ESD性能；适应不同温度与气体环境的兼容性及阻然性能。 VICTREX PEEK所拥有的独特综合性能不但符合半导体产业对材料的苛刻要求，更可显著提升产业半导体制造的效率及改善其制造加工的良品率。其卓越的ESD性能，可减少与避免因摩擦产生的静电而影响加工不良率；优良的耐磨损性、高表面硬度，可大幅减少发尘量；超高纯度、低析出物与低释气性，可避免污染，进而提高产量；高耐热性，在每段制造间不需降温，，进而提高加工生产效率；耐化学腐蚀性，可承受大部分的化学腐蚀性物质，用于制造设备的关键性零件，可以延长设备的使用寿命与减少设备的维修要求；尺寸稳定性，可维持设备零件高精密度，进而提升生产效率。 上海超聚以VICTREX PEEK为基础，在光伏、半导体领域中为不同的客户提供各种行业材料解决方案，具有丰富的PEEK加工生产经验，降低您的技术风险。 | 
发表于 2011-4-29 13:44:00
