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PECVD与非晶硅薄膜太阳能
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PECVD与非晶硅薄膜太阳能
mingdu
mingdu
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2008-4-20
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精华
发表于 2008-4-21 17:49:00
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非晶硅薄膜太阳能的P、I、N与PECVD工艺中,温度、压强、功率等等的关系
VHF—PECVD制备不同衬底温度微晶硅薄膜结构研究.pdf
(125.73 KB, 下载次数: 236, 售价: 1 下载券)
2008-4-21 17:49 上传
点击文件名下载附件
VHF-PECVD制备不同氢稀释条件下硅薄膜特性分析.pdf
(194.96 KB, 下载次数: 295, 售价: 1 下载券)
2008-4-21 17:49 上传
点击文件名下载附件
衬底温度对用RF-PECVD法制备的非晶硅薄膜光学性能影响.pdf
(253.18 KB, 下载次数: 330, 售价: 1 下载券)
2008-4-21 17:49 上传
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