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直拉硅单晶工艺学

发表于 2010-7-1 16:24:42 | 查看全部 |阅读模式

直拉硅单晶工艺学
第一章  晶体生长的基本原理
第二章  直拉单晶炉
第三章直拉单晶炉热场
第四章  高纯水制备
第五章备料与拉晶
第六章硅单晶电阻率和掺杂计算
第七章  直拉单晶热力学
第八章  硅单晶结构缺陷
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