PECVD镀膜后白斑白点问题

墨无文殇 · 发表于 2011-8-6 18:06:03

是制绒与后清洗之间的清洗，不懂问问其他的工程师，他们懂的

ztjy2008 · 发表于 2011-8-6 23:01:00

那应该是扩散工序了，制作pn结的

zhaoff2005 · 发表于 2011-8-26 13:06:53

白斑形成的原因有很多，具体原因具体分析吧。

xyd0209 · 发表于 2011-9-14 09:27:48

这种白斑大多都是因为清洗不完全造成的，后清洗如果不注意肉眼很难发现，我遇到很多次了，主要是刻蚀出了问题，酸碱浓度变化了，多排查这方面会有效果的，现在我就很少遇到了……

zhaoff2005 · 发表于 2011-9-27 15:21:17

PE白斑多数原因在后清洗工序。

oxrtalent · 发表于 2012-5-17 17:45:58

呵呵，楼主厉害。

/:Z拯救 · 发表于 2012-5-21 00:02:08

真的从来没注意过F的沉淀明天好好验证下

permanentlich · 发表于 2012-6-13 15:19:35

肯定是出在清洗的问题上！

wokaoman · 发表于 2012-11-4 14:13:08

应该是去PSG清洗时没洗干净吧

yongjin · 发表于 2014-7-29 09:16:55

机台氮化硅粉尘，建议保持好机台卫生！

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