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楼主: thc860902

PECVD渡膜时为什么老是碎片？

发表于 2011-6-23 08:33:40 | 查看全部

受热不均匀，导致膨胀

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发表于 2011-6-23 08:34:51 | 查看全部

预热腔升温快，不稳定

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发表于 2011-9-6 03:34:18 | 查看全部

我公司PECVD是深圳捷佳创的，也经常出现碎片，大都是插片没有插好。加上比如升温快，气压大，气流大等等原因。可以以后交流。

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发表于 2012-11-4 14:01:13 | 查看全部

是不是石墨框传输时有震动造成的，这种情况也很容易掉片子

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