单晶硅棒切成片后，片上有些有孔洞，那位知道这些形成的原因

yumeng7755 · 发表于 2010-9-6 18:01:28

原因为单晶硅的气泡，是坩埚质量造成的

sunziqi2004 · 发表于 2010-10-23 14:56:12

应该是拉晶时产生的气孔

yuye_as · 发表于 2010-11-7 09:15:18

有两个方面原因：单晶硅有硬质点，单晶硅的气泡

barton2004 · 发表于 2010-12-30 09:18:44

本帖最后由 barton2004 于 2010-12-30 09:19 编辑

这主要是拉晶时拉速过快导致.
希望高手指点.

anluzw · 发表于 2010-12-30 19:56:58

应该是拉棒的问题

khcoco · 发表于 2011-1-6 12:24:33

在拉晶过程中，个别料有夹层，在单晶生长时夹层内的小气泡在热对流刚好生长在了那个位置。

ajx003 · 发表于 2011-4-6 11:31:49

我司长期供应此类硅片，有需要请与本人联系

chen · 发表于 2011-4-6 12:32:47

与切片没关系，是棒子的问题

XXTT · 发表于 2011-4-24 13:31:26

晶棒原因,拉速过快.

ct00 · 发表于 2011-4-25 10:54:53

等到回答~~~111

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