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多晶电池片在刻蚀去PSG后,背面边缘部分发黄是什么原因 ...
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多晶电池片在刻蚀去PSG后,背面边缘部分发黄是什么原因?
ztjy2008
ztjy2008
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精华
发表于 2011-6-24 09:18:55
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多晶电池片在刻蚀去PSG后,背面边缘部分发黄是什么原因?
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118003016
118003016
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精华
发表于 2011-6-29 02:01:37
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可能有药液残留
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chengxinshijin
chengxinshijin
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精华
发表于 2011-7-9 22:01:43
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你可以测试下漂洗槽的PH值
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qiuyucsx
qiuyucsx
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精华
发表于 2011-8-10 21:09:54
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可能是碱的问题
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zhaoff2005
zhaoff2005
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精华
发表于 2011-8-26 08:37:14
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可能是酸残留。
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xyd0209
xyd0209
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发表于 2011-9-14 09:30:33
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很可能是去PSG时未清洗干净,硅片上有残留药液,看看最后的水洗槽是不是出问题了……
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Mr__Chen
Mr__Chen
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发表于 2011-12-27 11:10:18
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多孔硅????????
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/:Z拯救
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精华
发表于 2012-5-21 00:04:02
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磷硅玻璃不是多孔硅
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菓唲彵夿
菓唲彵夿
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精华
发表于 2012-6-6 16:43:44
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主要原因为扩散后,背面周边有一层磷硅玻璃,影响反应速度!
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permanentlich
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精华
发表于 2012-6-14 11:53:34
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片子上肯定有酸残留!
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