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单晶硅棒切成片后,片上有些有孔洞,那位知道这些形成的原因

 
发表于 2009-5-25 22:56:39 | 查看全部 |阅读模式
请大家多多指教
发表于 2009-5-26 07:30:43 | 查看全部
这个与切片没有直接联系,主要是拉晶所致
发表于 2009-5-29 16:46:08 | 查看全部
主要是棒子的问题
发表于 2009-6-18 21:52:43 | 查看全部
硅料与工艺有问题
与切片没有问题
发表于 2009-7-1 17:24:01 | 查看全部
应该是是棒子的问题
发表于 2009-7-2 11:59:01 | 查看全部
应为硅棒的问题,切片没有问题
发表于 2009-8-27 19:51:58 | 查看全部
首先检查棒子是否有问题?片子是否翘曲?
发表于 2009-10-23 08:44:48 | 查看全部
拉晶气孔,跟切片没关系
发表于 2010-2-9 15:12:17 | 查看全部
拉晶形成气孔缺陷,跟切片没关系
发表于 2010-3-14 11:20:11 | 查看全部
你切的单晶硅有硬质点呗?你的砂多少的!`
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