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单晶硅棒切成片后,片上有些有孔洞,那位知道这些形成的 ...
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单晶硅棒切成片后,片上有些有孔洞,那位知道这些形成的原因
火
liu_he001
liu_he001
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精华
发表于 2009-5-25 22:56:39
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请大家多多指教
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光谷子
光谷子
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精华
发表于 2009-5-26 07:30:43
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这个与切片没有直接联系,主要是拉晶所致
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haizhifeng99
haizhifeng99
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精华
发表于 2009-5-29 16:46:08
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主要是棒子的问题
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xiaoyonggenggxy
xiaoyonggenggxy
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精华
发表于 2009-6-18 21:52:43
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硅料与工艺有问题
与切片没有问题
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btsunny
btsunny
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精华
发表于 2009-7-1 17:24:01
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应该是是棒子的问题
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chenlove1
chenlove1
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精华
发表于 2009-7-2 11:59:01
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应为硅棒的问题,切片没有问题
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daichangquan
daichangquan
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精华
发表于 2009-8-27 19:51:58
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首先检查棒子是否有问题?片子是否翘曲?
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xxss1234
xxss1234
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精华
发表于 2009-10-23 08:44:48
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拉晶气孔,跟切片没关系
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天门冬
天门冬
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精华
发表于 2010-2-9 15:12:17
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拉晶形成气孔缺陷,跟切片没关系
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chaogai
chaogai
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精华
发表于 2010-3-14 11:20:11
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你切的单晶硅有硬质点呗?你的砂多少的!`
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