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2013-3-27

晶盛机电研制的区熔炉生长出8英寸区熔硅单晶棒

近日，晶盛机电与天津环欧联合承担并由晶盛机电研制的国家科技重大专项《区熔硅单晶片产业化技术与国产设备研制》之“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”课题的区熔硅单晶炉样机，结合天津环欧领先的晶体生长工艺，在天津环欧应用现场，成功拉制出总长约1000mm，直径205mm，总重量50.6kg的8英寸区熔硅单晶棒。据 ...

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