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碳化硅
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2013-8-8
回收碳化硅使用比例对硅片质量的影响
摘要: 碳化硅微粉是多线切割硅片中最主要的磨料,适合切割较硬、脆的材料。多线切割是由导轮带动钢线进行高速运动,由钢线携带砂浆进行研磨的切割方式,而砂浆就是悬浮液(PEG)和碳化硅(SiC)的混合物,当切割完毕后新砂浆变成废旧砂浆,如果把废砂浆丢弃会造成极大的环境污染而且对成本降低也不利,所以目前 ...
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