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2013-10-21

中科院项目“等离子体浸没离子注入制备黑硅及太阳电池技术研究”顺利通过验收

　　2013年10月12日，中科院前沿局组织专家在中科院嘉兴对微电子所承担的院知识创新工程重要方向项目“等离子体浸没离子注入制备黑硅及太阳电池技术研究”进行了现场验收。专家组由来自上海交通大学、中山大学、浙江大学、苏州纳米所等八家单位的专家组成。前沿局刘桂菊副局长、微电子所陈大鹏副所长、项目负责人夏洋研究员 ...

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