硅产业中的关键设备

发表于 2010-12-3 16:20:01 | 查看全部 |阅读模式

从工业硅到多晶硅，多晶到单晶，整个生产过程中有无数关键设备。首先是三氯氢硅的合成——合成炉，三氯氢硅、四氯化硅的精馏——精馏塔，三氯氢硅还原——还原炉，四氯化硅氢化——氢化炉，硅芯的拉制——硅芯炉，单晶的拉制——单晶炉。。。。

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