#技巧

　　PECVD工序是太阳能电池加工的第4道工序，此道工序的目的是利用射频电源的辉光发电，使SiH4与NH3发生电离，在低压、高频、高温的环境下在硅片表面沉积一层起减反射与钝化作用的氮化硅蓝膜，从而增加光的吸收，提高电池转换效率。 　　在加工正常硅片时，在任何工序都不会在异常，但是在加工再利用片时，经常会发生碎片 ...